微机电系统基础(原书第2版)/国外电子电气经典教材系列--聚文网

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内容简介

Chang Liu所著的《微机电系统基础（原书第2版）》第1版被翻译成3 种文字出版发行，并已被美国一些著名大学作为教科书，在MEMS领域享有较高声誉。全书共分15章。第1、2章概括了基本传感原理和制造方法；第3 章讨论了当今MEMS实践中所必需的电学和机械工程基本知识；第4～9章分别描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器；第10～11章详细介绍了微制造中最常用的体微机械加工和表面微机械加工技术，而器件制造方法则插入到实例研究中；第12章讨论了工艺技术的综合应用；第13章介绍了与聚合物有关的MEMS制造技术；第14章讨论了微流控原理及应用。根据这些敏感与执行方法以及制造方法；第15 章选择了MEMS商业化产品实例进行介绍。《微机电系统基础（原书第2版）》循序渐进，体系严密，适合作为微机电系统（MEMS）、传感器、微电子、机械工程、仪器仪表等专业的高年级本科生和研究生教材，也适合于这些领域的科技人员参考。

作者简介

Chang Liu(刘昶)于1995年在美国加州理工学院获博士学位。1996年在美国伊利诺斯大学微电子实验室作博士后，1997年成为伊利诺斯大学电气与计算机工程系和机械与工业工程系联合任命的助理教授，2003年获得终身职位并任副教授。 Chang Liu在微机电系统MEMS领域研究已经14年，发表120余篇国际期刊论文及会议论文，他的研究工作被广泛引用。他为本科生和研究生开设了多门课程，包括MEMS、固体电子学、机电学和传热学。他因利用MEMS技术开发人工毛发细胞方面的工作，于1998年获得美国国家科学基金会的CAREER奖。他目前担任国际期刊JMEMS的编委和IEEESensors Joumal的副主编以及IEEE MEMS，IEEE Sensors等多种国际会议程序委员会委员。

第2版译者序第1版译者序教师备忘录前言第1章绪论 1.0 预览 1.1 MEMS发展史 1.1.1 从诞生到1990年 1.1.2 从1990年到2001年 1.1.3 从2002年到现在 1.1.4 未来发展趋势 1.2 MEMS的本质特征 1.2.1 小型化 1.2.2 微电子集成 1.2.3 高精度的并行制造 1.3 器件：传感器和执行器 1.3.1 能量域和换能器 1.3.2 传感器考虑 1.3.3 传感器噪声及设计复杂性 1.3.4 执行器考虑 1.4 总结习题参考文献第2章微制造导论第3章电学与机械学基本概念第4章静电敏感与执行原理第5章热敏感与执行原理第6章压阻传感器第7章压电敏感与执行原理第8章磁执行原理第9章敏感与执行原理总结第10章体微机械加工与硅各向异性刻蚀第11章表面微机械加工第12章工艺组合第13章聚合物MEMS 第14章微流控应用第15章 MEMS典型产品实例附录A 典型MEMS材料特性附录B 梁、悬臂梁、板的常用力学公式附录C 处理二阶动态系统的基本方法附录D 常用材料的制备方法、刻蚀剂和能够承受的最高温度附录E 常用材料去除工艺附录F 材料和工艺之间的兼容性总结附录G 商用惯性传感器比较部分习题答案

微机电系统基础(原书第2版)/国外电子电气经典教材系列

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